химико-механическая полировка

 

химико-механическая полировка
химико-механическое выравнивание
Метод удаления слоев твердого тела с помощью химико-механической полировки, выполняемой с целью выравнивания поверхности и выявления конфигурации межметаллических соединений; ключевой заключительный процесс поточного производства интегральных микросхем.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

Синонимы

• химико-механическое выравнивание

EN

• CMP
• chemical mechanical planarization