химико-механическая полировка

химико-механическая полировка

 

химико-механическая полировка
химико-механическое выравнивание
Метод удаления слоев твердого тела с помощью химико-механической полировки, выполняемой с целью выравнивания поверхности и выявления конфигурации межметаллических соединений; ключевой заключительный процесс поточного производства интегральных микросхем.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

Синонимы

  • химико-механическое выравнивание

EN

  • CMP
  • chemical mechanical planarization


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужно решить контрольную?

Смотреть что такое "химико-механическая полировка" в других словарях:


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»